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美国AE直流电源维修MDX-5K射频电源维修

详细说明发布时间:2021-12-13 16:36 浏览次数:2
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品牌:AE直流电源维修
品牌:AE直流电源维修
维修:AE电源维修
范围:射频电源维修
单价: 88.00元/台
起订: 1 台
供货总量: 11 台
发货期限: 自买家付款之日起 1 天内发货
所在地: 北京
有效期至: 长期有效
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产品介绍
 美国AE直流电源维修MDX-5K射频电源维修

北京天浦正达AE直流电源维修中心可维修故障范围包括:

无输出,烧保险,开不了机,面板无显示修,启动无输出,输出电压不正常,带不了负载,模块坏等

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AE MDX系列直流电源操作前面板:

AE MDX直流电源操作及接线说明

1)指示灯

Output Power

a)Stop的指示灯亮时,表示电源已关闭

b)Start的指示灯亮时,表示电源已打开Regulation

a)Power的指示灯亮时,表示电源处于功率模式,设定值是功率值

b)Current的指示灯亮时,表示电源处于电流模式,设定值是电流值

c)Power和Current的指示灯同时亮时,表示电源处于电压模式,设定值是电压值

d)Power和Current的指示灯同时闪时,表示电源处于未知模式Status

a)Arc指示灯亮时,表示腔室内阻抗过低,输出电流过电源规定的大值

b)Setpoint指示灯亮时,表示电源的输出值已经达到设定值

c)Remote指示灯亮时,表示电源的开关或设置值处于远控模式

d)Output指示灯亮时,表示电源已经打开

e)Plama指示灯亮时,表示输出电流大于10mA

f)Interlock指示灯亮时,表示互锁已经满足,若不满足,则该灯闪烁

Level键:用于设置电源参数

Display键:按改键可切换显示功率、电压或者电流

拨码开关

RAMP,0.1 Sec:开关置下时,表示电源输出从0到设定值的时间为0.1秒

RAMP,1.0 Sec:开关置下时,表示电源输出从0到设定值的时间为1.0秒

RAMP,10 Sec:开关置下时,表示电源输出从0到设定值的时间为10秒C HOLD:开关置下时,可缩短一次以后电源输出值达到设定值的时间ON/OFF:开关置上时,表示通过User Port来打开或者关闭电源,置下时,表示通过前面板打开或者关闭电源

AE电源维修常见型号系列:

AE电源维修,美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修,AE电镀电源维修,AE射频电源维修,电镀高频电源维修,刻蚀射频电源维修,RE射频电源维修,PECVD射频电源维修,大功率工业电源维修,UPS电源维修等各行业工业用电源维修

射频电源设备维修:刻蚀,RIE,PECVD,ICP,射频溅射,CVD和PVD等系统

AE CESAR 1330 射频电源维修 AE PEII-10K镀膜电源维修 AE射频电源RF-5S维修 AE射频电源RFG3000维修


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